Hochreiner Graphit für die Halbleiterindustrie
Präzision, Reinheit und Verlässlichkeit für Ihre sensibelsten Prozesse

In der Halbleiterindustrie sind die Anforderungen an die Reinheit der Materialien besonders hoch. CTG-Graphite liefert hochreine Graphitkomponenten, die exakt auf die Anforderungen Ihrer Prozesse zugeschnitten werden – mit zertifizierter Qualitätssicherung, technischer Beratung und verlässlicher Lieferfähigkeit.
Graphitlösungen für höchste Anforderungen
Hochreiner Feinkorn-Graphit
mit definierten technischen Eigenschaften, kontrollierter Porosität und minimalen Verunreinigungen
Bauteile
für höchste thermische und mechanische Stabilität
Rückverfolgbarkeit
bis zur Rohstoffcharge – für maximale Prozesssicherheit
Maßgefertigte Teile
vom Prototyp bis zur Serie
Ihre Herausforderungen –
unsere Lösungen
Kontamination durch Fremdpartikel
Hochreine Graphitqualitäten reduzieren das Risiko von Prozessverunreinigungen auf ein Minimum. Durch gezielte Auswahl des Ausgangsmaterials und der entsprechenden Nachreinigung sowie modernste Fertigungsprozesse stellen wir sicher, dass Ihre Bauteile auch unter extremen Bedingungen konstant funktionieren.
Lange Lieferzeiten bei Spezialkomponenten
Wir unterstützen Ihre F&E-Abteilung mit schnellen, flexiblen Fertigungsprozessen – inklusive Prototypenfertigung und kurzfristiger Serienanpassung. Dank unseres modernen Maschinenparks und unseres skalierbaren Produktionsmanagements liefern wir auch bei komplexen Anforderungen in kürzester Zeit.
Lieferengpässe und Qualitätsprobleme
CTG-Graphite steht für langfristige Verlässlichkeit. Mit zertifizierter Qualitätssicherung nach DIN EN ISO 9001, strenger Wareneingangs- und Endkontrolle sowie klarer Rückverfolgbarkeit sorgen wir dafür, dass Ihre Komponenten immer den gewünschten Spezifikationen entsprechen – jederzeit reproduzierbar.
Anwendungen für Graphit in der Halbleiterproduktion
CTG-Graphite fertigt präzise Graphitbauteile für zentrale Komponenten in der Halbleiterproduktion. Unsere Produkte kommen dort zum Einsatz, wo thermische, chemische und mechanische Belastbarkeit gefragt sind – bei gleichzeitig höchsten Anforderungen an Reinheit und Maßhaltigkeit.
Folgende Komponenten gehören zu unserem Portfolio:
Heizer
Für gleichmäßige Temperaturverteilungen in Hochtemperaturprozessen wie CVD, PVD oder Epitaxie. Graphit bietet hier exzellente Wärmeleitfähigkeit bei hoher Temperaturstabilität.
Elektroden
Zur Stromübertragung in Plasmaprozessen oder Ionenimplantation. Graphit überzeugt durch gute elektrische Leitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit.
Isolation
Thermische Isolationselemente für Prozesskammern – häufig als Schichtträger oder Formteile, um Energieverluste zu minimieren und präzise Temperaturprofile zu gewährleisten.
Hitzeschilde
Schutzkomponenten in Hochtemperaturumgebungen, die empfindliche Baugruppen vor direkter Wärmeeinwirkung schützen.
Suszeptoren
Trägerstrukturen für Substrate (z. B. Wafer), die im Ofenprozess gleichmäßige Erwärmung sicherstellen. Graphitsuszeptoren sind besonders formstabil und temperaturresistent.
Ionenimplanter-Komponenten
Spezialisierte Bauteile für Anlagen zur Dotierung von Halbleitern. Hier ist Maßhaltigkeit entscheidend, um die exakte Steuerung des Ionenstrahls sicherzustellen.
Gasverteiler
Zur präzisen Einbringung von Prozessgasen in Reaktionskammern – z. B. bei CVD-Prozessen. Graphit bietet dabei hohe chemische Resistenz und Temperaturbeständigkeit.
Derartige Bauteile werden individuell nach Ihren Spezifikationen gefertigt – mit hochreinem Graphit, dokumentierter Rückverfolgbarkeit und zertifizierter Qualitätssicherung.
Warum CTG-Graphite?
Hochreiner Graphit mit dokumentierter Reinheit:
Wir verwenden ausschließlich Graphitmaterialien, die für den Einsatz in sensiblen High-Tech-Prozessen geeignet sind – geprüft, zertifiziert und rückverfolgbar.
Technische Beratung auf Augenhöhe:
Unsere Ingenieur:innen unterstützen Sie bei der Auswahl, Auslegung und Konstruktion Ihrer Komponenten – inklusive CAD-Daten, Materialberatung und Machbarkeitsprüfung.
Flexible Fertigung und hohe Liefertreue:
Mit moderner CNC-Technologie, CAD/CAM-Systemen und effizientem Produktionsmanagement sichern wir Ihre Kapazitäten – kurzfristig und planbar.
Zertifizierte Qualitätssicherung nach DIN EN ISO 9001:
Unsere Prozesse sind auditierbar, dokumentiert und standardisiert – für gleichbleibend hohe Qualität und maximale Sicherheit in Ihrer Prozesskette.
F&E-Unterstützung für innovative Anwendungen:
Ob Muster, Kleinserien oder seriennahe Tests – wir begleiten Sie von der Entwicklung bis zur Skalierung.
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